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产品介绍

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- 超高精度的氛围静压主轴 自主专利技能
- 超高精度的气体静压导轨 自主专利技能
- 超精细控制体系 自主专利技能
- 超高辨别率反应 31.25PM
- 超顺滑的直线电机控制
- 敏捷控制的气动夹紧机构
- 自主设计的控制软件和界面
- 触摸屏设计
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- X轴(垂直于主轴)
- 最大行程200mm
- 直线度0.1μm/100mm
- 辨别率1nm
- Z轴(沿主轴轴线)
- 最大行程150mm
- 直线度0.1μm/100mm
- 辨别率1nm
- 主轴(安置于Z轴)
- 径向跳动0.05μm,轴线跳动0.05μm
- 主轴转速:10-6000rpm
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1.要求隔震地基,设置装备摆设在温度:20±2℃,一天内温度梯度小于2℃。湿度:<50%的情况下利用。2.氛围过滤精度:0.5um。除油、除水。
3.氛围压力:≥0.6MPa。
4.氛围流量: ≥0.3m³/min。
5.电源:380V,设置装备摆设功率:≤5KW。